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更新日期：2025-03-02簡(jiǎn)要描述：horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z552/Z562MGX小量程0-100SLM，大量程0-500SLM高精度：2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.)模擬信號(hào)輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議
horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z552/Z562MGX屬于大流量質(zhì)量流量控制器，又稱氣體質(zhì)量流量控制器，簡(jiǎn)稱MFC。
SEC-Z552的量程有0-300SLM，
SEC-Z562的量程時(shí)0-500SLM。
氣體質(zhì)量流量控制器的功能：控制管路中的流量達(dá)到期望的設(shè)定值，同時(shí)反饋實(shí)際的流量信號(hào)到上位機(jī)。
horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z552MGX/Z562MGX是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC，用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中。
我公司提供進(jìn)口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z532MGX、SEC-Z542MGX等，
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